Didelio-grynumo azotas naudojamas kaip apsauginės ir nešančiosios dujos gaminant integrinius grandynus, puslaidininkius ir vakuuminius elektroninius prietaisus; tarnauja kaip nešančiosios dujos cheminio nusodinimo garais metu; jis perneša dujas skysčių difuzijos šaltiniuose; ir veikia kaip apsauginės dujos aukštoje{1}}temperatūros difuzinėse krosnyse esantiems įrenginiams.
Didelio -grynumo azotas naudojamas kaip dujos išstumti, džiovinti, laikyti ir transportuoti atliekant tokius procesus kaip epitaksija, fotolitografija, valymas ir garinimas. Katodinių spindulių vamzdžių gamyboje reikalaujama, kad azoto grynumas būtų 99,99 % arba didesnis. Aviacijos ir kosmoso technologijose skysto vandenilio degalų papildymo sistemos pirmiausia turi būti išvalytos didelio-grynumo azotu, o po to – didelio-grynumo heliu.
2025 m. gruodžio mėn. Valstybinė rinkos reguliavimo administracija patvirtino ir išleido nacionalinę standartinę medžiagą, skirtą didelio -grynumo azotui, kuris naudojamas pagrindiniuose procesuose, pvz., valant, ėsdinant ir nusodinant puslaidininkinių prietaisų gamyboje, taip pat tokiuose procesuose kaip fotolitografija, jonų implantavimas ir oksidacija integrinių grandynų gamyboje.